什么是復合式的空氣凈化方式？
       復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
       1、潔凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100 %覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉費用。
       此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。
       潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A、彈性擴充容易。B、維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
       2、潔凈管道：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
       3、并裝局部潔凈室：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用。潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
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